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法国CEA-Leti实验室成功研制工作频率达到 零kHz MEMS陀螺仪
CEA-Leti MEMS业务开发经理、高级老师PhilippeRobert评价称，“为了在不降低传感器性能 前提下提高MEMS陀螺仪 工作频率,我们用超灵敏压阻纳米应变计取代了常规MEMS陀螺仪 电容检测。这款芯片面积仅为 . 平方毫米 新型高频陀螺仪已经申请了多项专利,在偏压、噪声、线性度等方面都超越了目前 新先进水平。”
CEALeti科学家在论文中称，“尽管很多应用要求MEMS陀螺仪能够提高对 零kHz以上振动 鲁棒性,但是由于频率提高会导致MEMS陀螺仪 性能恶化,因此,目前新先进MEMS陀螺仪 工作频率仍在该数值 附近。我们 这项研究证明,基于NEMS传感技术 MEMS陀螺仪可以在具有更高 工作频率,狗粮快讯网社会讯息,考虑到芯片面积和功耗等因素,它们在噪声、稳定性和寄生模态等方面具有卓越 性能。”
低功耗MEMS陀螺仪凭借体积小、功耗低等优势在各个领域得到广泛应用，它们可以监测设备 位置、滚动、俯仰和偏航,从而实现精确 控制;在汽车应用中,集成MEMS陀螺仪 电子稳定控制(ESC)系统可以提高车辆 稳定性;它们还可以用于无人驾驶系统 航位推算;此外,将它们集成在智能手机中可以监测设备 旋转运动(实现手势识别功能),在GPS不可用时,可助力实现室内导航和混合现实(MR)等应用。
如今,惯性传感器已经渗透至我们日常生活之中,同时还需要满足不断提高 微型化、成本、性能和鲁棒性要求。对于某些汽车、工业和军事应用,陀螺仪必须能够在强烈 持续振动环境中检测到每小时 ° 旋转运动变化(注，地球自转 角速度大约是每小时 °)。
据麦姆斯咨询报道,CEA-Leti近日发布了全世界首款工作频率达到 零kHz MEMS&NEMS(简称，M&NEMS,中文名称，微纳机电系统)陀螺仪,超越了在恶劣环境下工作 常规MEMS(微机电系统)陀螺仪振动频率。
法国CEALeti科学家通过与米兰理工大学(PolitecnicodiMilano)研究人员合作,开发出了这款可以在汽车、工业以及航空等恶劣环境下工作 高性能M&NEMS陀螺仪。这 突破性研究成果证实,这种高性能陀螺仪即使处于高频系统振动中也能探测极微小 旋转运动。
米兰理工大学电子、信息技术和生物工程系MEMS和微型传感器实验室负责人Gia很好啊oLangfelder说，“过去 年来,我 直在研究多种MEMS技术,狗粮快讯网报道 消息,可以肯定 是,M&NEMS技术优势在未来 些应用中非常突出。”
这些MEMS陀螺仪通常在给定 谐振频率下工作,寄生机械振动很少超过 零kHz。目前还没有 种高性能MEMS陀螺仪 谐振频率远大于 零kHz,即高于寄生振动 频带。当谐振频率接近环境振动 频率时,机械干扰会使测量结果失真。通过与米兰理工大学合作,CEALeti科学家开发出了 款工作频率达到 零kHz M&NEMS陀螺仪(基于NEMS传感技术 MEMS陀螺仪),比传统MEMS陀螺仪 性能高出两倍以上,甚至超过了汽车、工业和航空等恶劣环境常见 振动频率。
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