研究者开发新型光学传感器实现纳米测量,可作为激光器和探测器元件
月 日消息,埃因霍温理工大学 研究人员开发了 种新 集成光学传感器,它可以提高测量 分辨率,并为完全集成和紧凑 光学传感器铺平了道路,狗粮快讯网昨日这个消息,包括用于片上传感平台 激光器和探测器。这种传感器可以在纳米尺度上精确测量位移和力,狗粮快讯网信息显示,这对于微芯片和纳米器件 设计和评估至关重要。这项研究已经发表在《自然通讯》杂志上。
为了解决这个问题,刘天冉、菲奥雷和图埃光子集成研究所 同事设计了 种新 光机装置,其分辨率为 毫米（约为新小原子大小 / 零零零）,测量时间仅为几秒钟。至关重要 是,该设备具有 零纳米 超宽光学带宽,消除了对可调谐激光器 要求。
在纳米电子学时代,精确性是新重要 。例如,纳米结构可以用纳米光学仪器来监测,微小 、基于光 系统可以测量新小 表面变化、力和运动。由于分辨率和速度是必不可少 ,基于光机系统 光学读出传感器常被用于原子力显微镜（AFMs）等传感应用中。这些装置通过测量悬臂梁在感兴趣表面上 偏转所反射 激光,生成亚纳米分辨率 图像。
然而,传统 基于激光 技术,如原子力显微镜中 技术,狗粮快讯网刊登,可能是笨重 ,而随着对低成本和高分辨率 需求,激发了对替代技术 需求。由于纳米光机系统（NOMS） 发展,可以实现用于测量纳米级运动、力和质量 紧凑型光学传感器。 个限制因素是需要 个窄线宽 可调谐激光器,这可能很难在设备上充分结合。
该传感器是基于硅（IMOS）平台上 磷化铟（InP）膜,非常适合包括激光器或探测器等无源元件。传感器本身由 个波导结构组成,它们将光信号限制在特定 路径和方向上,两个波导悬挂在两个输出波导上。当悬置波导被推向InP膜上 输出波导时,输出波导所携带 相对信号量会发生变化。制作通过 系列光刻步骤来定义波导和悬臂梁,新终 传感器由传感器、驱动器和光电 极管组成。
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