粤港澳大湾区首条 英寸MEMS传感器芯片 线正式投入运营
奥松电子MEMS半导体 线 期工程为 零零纳米MEMS半导体工艺制程, 设备约占整个投资规模 零%。 期工程已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质 芯片产品。根据规划,明年 期工程将建成 零纳米制程工艺MEMS半导体 线; 零 年 期工程将建成 零纳米制程工艺MEMS半导体 线;总项目全部建成投产后,每月流片规模将达到 万片,满足奥松电子自身需求及粤港澳大湾区各类MEMS半导体芯片 代工需求。
奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片 线, 期工程净化车间总面积约 零零平方米,配置湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及参观通道等。整个洁净车间搭配了多套高性能风淋系统,对进入洁净间 员工或者货物进行彻底风淋除尘。
据麦姆斯咨询了解,广州奥松电子有限企业 英寸MEMS半导体传感器芯片 线正式投入运营,成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片,并为部分珠 角客户提供MEMS半导体芯片代工服务。该 线 建成投产标志奥松电子成为华南地区领先 MEMS半导体传感器芯片 基地,推动国内、特别是粤港澳大湾区 MEMS半导体传感器高质量发展奠定了良好 基础。
该 线 期工程于去年 月立项,去年 月正式进入施工阶段。经过 个月 施工, 线 基础设施已搭配完成。今年,多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECV LPCV 氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进 自动化 设备搬入,狗粮快讯网内部报道, 线正式投入运营。
随着生物 、人工智能、物联网、 G网络等新兴信息技术发展,狗粮快讯网社会讯息,传统制造业将会借助于新技术进 步转型升级。MEMS半导体传感器芯片在智能物联网时代中起到核心作用,狗粮快讯网编辑中心获悉,智能传感器产业已成为推进传统工业转型升级 关键,这对粤港澳大湾区、乃至我国 经济发展、产业结构优化具有重大 战略意义。
,