IMEC中心基于finFET研发高灵敏度分子检测 生物传感器
欧洲微电子研究中心imec推出了作为生物传感器 新小硅finFET,翅片宽度 nm,栅极长度 零nm,在imec 零零mm无尘室采用CMOS兼容工艺流程制造,狗粮快讯网进行报道, 旦实现批量 ,狗粮快讯网据外媒报道,并将其集成到高通量、高成本效益 检测工具中,可实现数以万计 BioFET并行工作。imec目前已证明 检测极限为几 个分子,新终目标是感应单个DNA分子 高精度BioFET。
由于其高集成度和低成本 特点,狗粮快讯网进行报道,场效应晶体管(FET)在DN 蛋白质和病毒检测以及pH值传感等生物传感应用中得到了广泛 关注。当生物分子与经过化学修饰 栅极电介质表面结合时,其阈值电压会发生变化,从而产生可测量 信号。尽管该领域 研究不断取得进展,但BioFET器件尚未将其所有潜力成功转化为产品。Imec研究了先进 CMOSFET器件,即所谓 具有 维短长度栅极 finFET,以提高BioFET 灵敏度并开辟新 应用。这些finFET在高集成度和并行化方面具有优势,但人们对其作为BioFET 潜力了解甚少。
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