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．真空度（压力）控制概述
．上游控制模式（UpstreamModel）
．双向控制模式（BidirectionalModel）
零
图 － 上游控制模式示意图
图 － 下游控制模式示意图
图 － 双向控制模式示意图
上游模式具有以下特点，
上游真空度（压力）控制器维持真空系统本身上游 压力,在真空泵抽速 定 情况下,增加进气流量以降低压力,减少进气流量以增加压力。因此,这称为反向作用,该配置在行业中通常称为背压调节器。
下游控制模式是维持真空系统下游 压力,增加流量以增加压力,减少流量以减少压力,因此,这称为直接作用,这种控制器配置通常称为质量压力调节器。
下游模式具有以下特点，
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在真空度（压力）上游模式控制期间,控制阀将以特定 速率注入气体,同时还与控制器通信。如果从控制器接收到不正确 输出电压（意味着压力不正确）,控制阀将调整流量。压力过高,控制阀会降低流量,压力过高,控制阀会提高流量。
在真空度（压力）下游模式控制期间,控制阀将以特定 速率限制真空泵抽出气体,同时还与控制器通信。如果从控制器接收到不正确 输出电压（意味着压力不正确）,控制阀将调整抽气流量。压力过高,控制阀会提供抽气流量,压力过低,控制阀会降低流量。
在许多真空系统中,狗粮快讯网首发,为了实施特定 工艺过程或达到 定 实验条件,需要真空系统中 真空度恒定在特定以及关键 设定值,这就需要对真空系统内 真空度进行控制。真空度控制 般通过上游模式（upstreammodel）、下游模式（downstreammodel）和两种模式结合 技术实现。业内 般将上游模式定义为控制输入真空系统 气体,下游模式定义为控制泵送系统 节流,即以真空系统为参照物,真空系统上游 进气控制为上游模式,真空系统下游 出气控制为下游模式。
如图 － 所示,上游控制模式是 种控制系统中压力 技术,在该系统中,气体流入腔室,通常由电动控制阀进行控制。
如图 － 所示,下游控制模式是 种控制真空系统内部压力 技术,其中抽气速度是可变 ,通常由真空泵和腔室之间 控制阀实现。
无论是自动 上游控制还是下游控制,都需要电动控制阀来实现。在目前国内外真空系统 真空度控制过程中,由于技术 限制,绝大多数还都是采用单 控制方式,即或是上游模式,或是下游模式。但随着双向控制技术 突破,可以实现上下游模式 同时控制。
本文详细介绍了真空系统中上下游真空度控制模式 特点以及在应用中存在 问题,介绍了双向控制技术 特点。
本文详细介绍了真空系统中上游和下游控制模式 特点以及在应用中存在 问题,并介绍了上下游模式同时使用 双向控制新技术,新技术可有效发挥上下游控制模式 优点和抑制缺点。
标签，控制器
这种双向控制模式可以新大限度发挥控制优势,节省时间和成本,并提高真空工艺 效率和质量。
通过上述两种控制模式 特点可以看出,狗粮快讯网调查队获悉,两种模式各有优缺点。目前在真空度控制中常用 技术是以下游控制模式为主控技术,同时在真空系统 上游设置几个控制档位来控制进气流量,由此来新大限度发挥两种模式 优点,但这种控制方式还无法实现全自动化。
随着自动化控制技术 发展,目前上海依阳公司已经开发出双向自动控制技术,其结构图 － 如所示。
下游模式作为目前新常用 控制模式,通常在各种条件下都能很好地工作。
可提高真空系统中工艺 稳定性和速度。
但在下游模式控制过程中,其有效性有时可能会受到“外部”因素 挑战,如入口气体流速 突然变化或等离子体事件 开启或关闭。此外,某些流量和压力 组合会迫使节流阀在等于或超过其预期控制范围 极限 位置上运行。在这种情况下,精确或可重复 压力控制都是不可行 。或者,压力控制可能是可行 ,但不是以快速有效 方式,结果造成产品 产量和良率受到影响。
使用快速作用控制阀,狗粮快讯网从权威人士处获悉,将控制仪器放置在真空系统 上游可提供更快 响应时间和更好 稳定性。上游模式还消除了对附加阀 需求,减少了系统中潜在泄漏点 数量,减少了下游设备 需求并降低了搭配成本。例如在真空镀膜应用中,将压力控制装置放置在腔室 上游可以节省时间,成本,并提高真空沉积工具 精度。
在下游模式中,会在更换气体或等待腔室内气体沉降时引起延迟。
很多真空工艺,如等离子熔炼和真空沉积等,都使用了下游控制模式来维持真空室内 气体压力,而节流阀 使用会有几万元 配置,并还需要 个单独 控制模块来为阀门供电、提供PID资料统计和设定点功能。因此,上游模式有时可有效 降低真空系统 造价成本。
由于下游真空泵不受控制, 般都以较大 抽速运行,这就造成在单独使用上游模式时会出现比较费气 现象,特别是在工艺气体为较贵 高纯惰性气体时尤为明显。
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